高溫密封提高了半導(dǎo)體 Subfab 應(yīng)用的生產(chǎn)力

特瑞堡密封解決方案推出其 Isolast? K-Fab? 密封件，旨在為高溫半導(dǎo)體子晶圓廠應(yīng)用提供長(zhǎng)期密封并提高生產(chǎn)率。Isolast? K-Fab? 密封件提供了一種替代傳統(tǒng) O 形圈的法蘭密封解決方案，以防止在極端溫度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境中過(guò)早失效。 

耐受極端溫度和復(fù)雜的化學(xué)物質(zhì)
Trelleborg Sealing Solutions 半導(dǎo)體部門(mén)總監(jiān)兼 O 型圈和工程模制部件產(chǎn)品線總監(jiān) Chris Busby 說(shuō)：“Isolast? K-Fab? 密封件能夠耐受極端溫度和關(guān)鍵的子晶圓廠環(huán)境中的復(fù)雜化學(xué)物質(zhì)這會(huì)對(duì)法蘭中的彈性體密封件造成極大的破壞。獨(dú)特的設(shè)計(jì)包括保留密封功能，確保密封易于改裝到 NW/KF/ISO 真空接頭中。通過(guò)彈性體元件的設(shè)計(jì)，法蘭的組裝也變得相當(dāng)容易，該彈性體元件與法蘭插入件形成拼圖形狀的連接?？傮w而言，這有助于顯著減少意外停機(jī)時(shí)間并降低擁有成本?！?/span>

 定制密封幾何形狀

由全氟橡膠 (FFKM) 配制而成，定制的密封幾何形狀使用的橡膠顯著減少，以消除溢出和擠出，從而改善熱性能，并消除熱膨脹和凹槽溢出。與 O 形圈相比，密封幾何結(jié)構(gòu)可以承受法蘭的不對(duì)中，便于組裝。這種優(yōu)化的密封設(shè)計(jì)提高了性能，尤其是在壓力或真空條件變化的情況下，可延長(zhǎng)使用壽命并降低總體擁有成本。 

多種彈性體材料 

Isolast? K-Fab? 密封件可耐受高達(dá) +325 °C / +617 °F的溫度，具體取決于材料選擇。彈性體材料的靈活使用旨在通過(guò)使材料性能與應(yīng)用相匹配來(lái)降低總體擁有成本。Isolast? K-Fab? 法蘭密封件適用于與鋁或不銹鋼組合，可以由一系列彈性體材料制成，包括 Isolast? FFKM、Isolast? PureFab? FFKM 用于超高純度、FKM 和 PureFab? FKM。